Турбомолекулярный вакуумный насос Leybold TURBOVAC SL 80 - 63 ISO‐K

Характеристики

Производитель

Leybold

Страна

Германия

Тип

Турбомолекулярный

Серия

Mechanical Rotor Suspension

Производительность по азоту, л/с

65

Предельное остаточное давление, Па

2x10^(-8)

Предельное остаточное давление, мбар

2x10^(-10)

Обороты в минуту

72000

Назначение

Промышленный

Категория

Вакуумный насос

Модель

SL 80 - 63 ISO‐K

Вес, кг

1,9

Артикул

192000084

Время разгона ротора, мин

1.5

Коэффициент сжатия азота

1,0x10^11

Коэффициент сжатия аргона

1,0x10^11

Коэффициент сжатия водорода

4,0x10^4

Коэффициент сжатия гелия

2,0x10^6

Производительность по Ar, мбар·л/с

1.6

Производительность по H2, мбар·л/с

0.5

Производительность по He, мбар·л/с

1.2

Производительность по N2, мбар·л/с

2

Скорость откачки по аргону, л/с

60

Скорость откачки по водороду, л/с

49

Скорость откачки по гелию, л/с

55

Температурный режим, °С

от 15 до 45

Входной патрубок

63 ISO‐K (63 CF) / 16 ISO‐KF

Выходной патрубок

63 ISO‐K (63 CF) / 16 ISO‐KF

Диаметр патрубка

ISO / 63 / 16 / ISO‐KF