Производитель
—
Pfeiffer Vacuum
Страна
—
Германия
Мощность, кВт
—
0,3
Вход и выход
—
DN 25 ISO-KF, DN 16 ISO-KF
Габаритные размеры, мм
—
216 × 317 × 111 (электронный модуль) / 279 × 264 × 197 (вакуумный модуль)
Мин. регистрируемый поток гелия - вакуумный метод, Па·м3/с
—
5x10^(-13)
Мин. регистрируемый поток гелия - метод щупа, Па·м3/с
—
1,5x10^(-9)
Напряжение, В
—
220
Скорость откачки по гелию, л/с
—
6
Развернуть