Производитель
—
Ebara
Страна
—
Япония
Тип
—
Турбомолекулярный
Производительность по азоту, л/с
—
820
Предельное остаточное давление, мбар
—
1x10^(-8)
Охлаждение
—
Водяное, Воздушное
Диаметр патрубка
—
150, 25, CF, KF
Напряжение, В
—
230
Развернуть
